Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares

En este trabajo se estudia la utilización de grabado anisotrópico y SRO con la finalidad de mejorar el rendimiento de las guías de onda coplanares. Se presentan resultados experimentales de grabado seco de silicio monocristalino para su aplicación en la fabricación de guías de onda coplanares (CPW&#...

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Main Authors: REBECA LEAL ROMERO, IGNACIO ENRIQUE ZALDIVAR HUERTA, J. APOLINAR REYNOSO HERNANDEZ, CLAUDIA REYES BETANZO
Format: info:eu-repo/semantics/article
Language:spa
Published: REVISTA MEXICANA DE FÍSICA 2010
Subjects:
Online Access:http://inaoe.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1009/1418

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